Cinétique de la photodéposition d'alcènes sur le SI(111).

Abstract

La surface du Si(111) est hydrogénée en utilisant une variante de la méthode RCA, suivi d'une immersion dans le NH 4 F 40%. Cette surface hydrogénée est caractérisée par spectroscopie infrarouge dans un arrangement géométrique de multiples réflexions internes. Le pic de réflectance des Si-H est mince et intense ce qui indique que la surface hydrogénée est homogène et atomiquement plate. En présence de 1-octène et de 1-hexadécène, une monocouche alkyle est formée par exposition à une radiation UV. Ces monocouches alkyles ont été caractérisées par spectroscopie infrarouge. L'intensité relative des bandes de réflectance des étirements symétriques et asymétriques des méthylènes est comparable aux valeurs publiées pour des chaînes de dimensions comparables. Les mesures d'absorbance dans la polarité s et p permettent de déterminer un angle d'inclinaison pour le 1-hexadécène adsorbé par rapport à la normale qui varie de 18° à 45°. La photodéposition de 1-hexadécène a été suivie par spectroscopie in-situ. Ces spectres présentent des bandes unipolaires et bipolaires. Une étude cinétique des spectres qui présentent des bandes unipolaires est faite pour déterminer un mécanisme d'adsorption. Les résultats suggèrent un processus d'adsorption qui serait compatible avec un processus radicalaire en chaîne.